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三氯化铁蚀刻速度的影响因素
时间:2021-10-22 14:21:51

三氯化铁蚀刻速度的影响因素主要表现在以下几方面:

1)温度

蚀刻液温度越高,蚀刻速度越快,温度的选择有以下两个原则:确保蚀刻液不损坏抗蚀层;应选择蚀刻机所用材质能承受的温度,一般以20~60℃为宜。此外,在蚀刻过程中,温度会逐渐升高,蚀刻机需安装冷却装置,防止蚀刻液温度超出标准,影响蚀刻的精度。

    2)三价铁的浓度

三价铁的浓度对蚀刻速度有很大的影响。蚀刻液中三价铁浓度逐渐增加,对铜的蚀刻速率相应加快。当三价铁的含量超过某一浓度时,由于蚀刻液粘度增加,蚀刻速度反而有所降低。一般蚀刻涂覆网印抗蚀印料、干膜的印制板,浓度可控制在35°Be左右;蚀刻涂覆液体光致抗蚀剂(如骨胶、聚乙烯醇等)的铜工件,浓度则要控制在42°Be以上。

    3)盐酸

盐酸的作用:一是抑制三氯化铁的水解,二是提高蚀刻的速度。三是分别促进二价铁、一价铜氧化成三价铁、二价铜,尤其是当蚀刻液中铜离子达到37.4g/L后,盐酸的作用更明显。但是盐酸的添加量要适当,酸度太高,会导致液体光致抗蚀剂(如骨胶、聚乙烯醇等)涂层的印制板只能用低酸度溶液;对于感光树脂抗蚀剂则可以选择较高的酸度。

    4)搅拌

静止蚀刻的效率和质量都是很差的。原因是在蚀刻过程中在板面和溶液里会有沉淀生成,而使溶液呈暗绿色,这些沉淀会影响进一步的蚀刻。采用空气搅拌、喷淋或泼溅操作都可以加快蚀刻反应。上海九游会中国品牌选择了喷淋式的蚀刻,这是因为喷淋式的设备可以将二价铁和一价铜重新氧化成三价铁和二价铜,进一步维持蚀刻液的浓度,提高了蚀刻的速度。

   在温度控制方面,上海九游会中国品牌改造设备,由原来的手动控制温度改为现在全自动控制蚀刻液的温度,有效地将蚀刻液的温度控制在±0.2℃之内,给蚀刻加工带来了很大的便利,尺寸均一、稳定。


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